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润景陶瓷硬密封球阀在硅片清洗设备上的应用

1958年,美国德州仪器公司展示第一块集成电路板,世界进入集成电路时代。60多年来,集成电路飞速发展,已经广泛应用于工业、农业、航空航天、国防、军事等领域,甚至进入每一个家庭。


硅片,是制作集成电路的重要材料,对硅片进行光刻、离子注入等手段,可以制成各种半导体。半导体行业快速发展,拉动硅片需求增长,对硅片质量提出更高的要求,尤其对硅抛光片的表面质量要求。


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集成电路


半导体元器件生产中,须对硅片进行严格清洗,清除表面的污染杂质,防止微量污染导致元器件失效。硅片清洗设备在生产过程中会在表面产生颗粒和金属杂质污染,会严重影响元器件的质量和成品率,为清除这些污染,需要使用超声波和酸碱溶液以及超纯水对硅片进行清洗,其工艺流程为:超声波清洗→碱洗→超声波清洗→漂洗→酸洗→漂洗→超声波清洗→烘干。


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超声波硅片清洗设备


硅片清洗后的废水含有高硬度的硅片残渣以及酸碱溶液,要求设备管道和阀门耐磨损、耐冲刷、耐腐蚀。


润景陶瓷硬密封球阀的阀芯与阀座采用氧化铝或碳化硅材料,经1680℃或2200℃超高温烧结、精密加工而成,洛氏硬度HRA≥85,可用于盐酸、硫酸、氢氧化钠、海水、工业废水等多种酸、碱及特殊介质输送,具有突出的耐磨损和耐腐蚀性能,能够很好地满足硅片清洗设备的使用要求。


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润景陶瓷硬密封球阀应用于天津某公司硅片清洗设备


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润景陶瓷硬密封球阀应用于张家港某公司硅片清洗设备


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